Last Update: 2006-02-16

PROFILOMETER

Das Taylor Hobson Surtronic 3+ Profilometer ist ein äusserst vielseitiges Instrument. In der oben gezeigten Anordnung ist die Probe auf einem dreiachsig bewegilichen Probentisch montiert. Dieser erlaubt eine präzise Positionierung in drei Dimensionen. Aufgrund der geringen Grösse des Instruments ist es allerdings auch möglich, Oberflächenprofile beliebig geformter Körper zu ermitteln.
Das Auflösungslimit ist zwei nm vertikal. Scans können mit Längen zwischen 1 mm und 4 cm aufgenommen werden. Die so ermittelten Oberflächenprofile können bezüglich elemntarer morphologischer Parameter mit einer kommerziellen Software analysiert werden.