Last Update: 2006-02-16

HOCHVAKUUM RASTERKRAFTMIKROSKOP

Das obige Bild zeigt die Vakuumkammer, in der ein TOPOMETRIX (jetzt VEECO) AFM-Kopf moniert werden kann. Die Kammer ist mit einem leicht entfernbaren Schleusensystem ausgerüstet, welches den Transfer von Proben von beliebigen Beschichtungssystemen zur AFM-Kammer ermöglicht. Das folgende Bild zeigt den AFM-Kopf in der Kammer.

Um den AFM-Kopf in der Kammer zu betreiben mussten einige Modifikationen vorgenommen werden, welche das obige Bild (durch Pfeile gekennzeichnet) zeigt.
Naturgemäss kann das AFM auch an Atmosphäre in drei Basismoden betrieben werden: im Kontakt mit der Oberfläche, im "Non Contact Mode" und im WiTec "Pused Force Mode", welcher die Bestimmung mechanischer Oberflächeneigenschaften wie z. B. lokale Adhäsion und Steifigkeit mit einer lateralen Auflösung von etwa 10 nm erlaubt.