Last Update: 2006-02-16

RASTERELEKTRONENMIKROSKOP

Mit dem Rasterelektronenmikroskop (REM) ist es möglich, die Oberflächenmorphologie elektrisch leitender Proben im sub-μm Bereich zu bestimmen. Zusätzlich kann Information über die Phasenverteilung in mehrphasigen Schichten durch Detektion rückgestreuter Elektronen ermittelt werden, da der Rückstreuquerschnitt von der atomaren Massenzahl abhängt.
Ein energiedispersiver Phillips EDAX Röntgendetektor erlaubt die Analyse der chemischen Zusammensetzung in einem Analysevolumen von etwa einem μm³ mit einer Genauigkeit von ca. 0.5 at%.